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Sensor mit vielen bunten kleinen Zellen

Mikro & Nano Technologie

Das Austrian Institute of Technology bietet Dienstleistungen für die Simulation, Fabrikation und Charakterisierung von mikro- & nanotechnologischen Strukturen und Bauelementen. Unsere Laboratorien sind modernst ausgestattet, unsere besondere Expertise beruht auf der Kombination von Halbleitertechnologie und Dünnfilmprozessen mit innovativen Konzepten der Mikro-, Nano- und Biowissenschaften. Wir würden uns freuen bei der Auswahl der geeigneten Methoden und Prozesse zur Bewältigung Ihrer technischen Herausforderungen helfen zu können.

Mikro & Nano Charakterisierung

Rastersonden-Microskopie und -Spektroskopie (SPM)     

Atom- (AFM), Chemische- (CFM), Magnet- (MFM) Kraftmikroskopie      

Abbildung auch in Flüssigkeiten

Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM)     

Rastertransmissionselektronendetektor (STEM)     

Rückstreuelektronendetektor (BSE)

Profilometer-Spitzenmessplatz     

Elektrische Messungen bis zu 20 GHz      

Magnetoresistive Charakterisierung

Elektrochemischer Potentiostat     

Elektrochemische Impedanzspektroskopie

Mikro & Nano Fabrikation

Materialdrucker     

Druckbare Materialien: Metalle, organische Leiterbahnen, biofunktionalisierende Tinten, etc. Substrate: Polymere und Metalle (Folien und Bulk), Glas, Keramik, etc.

Magnetron Sputtering     

Präzise Abscheidungskontrolle für Schichtdicken 5nm – 1000nm. Mehr als 30 verschiedene Materialien verfügbar: Metalle, Halbleiter, Nichtleiter    Multitarget-System: für Multilayer mit bis zu elf unterschiedlichen Materialien

Aufdampfen     

Mehr als zehn unterschiedliche Materialien verfügbar: Metalle und Nichtleiter

Elektrochemische Abscheidung von Metallen und Halbleiter

Optische Lithographie

Elektronenstrahllithographie

Atomkraftlithographie

Argonionenätzen

Nasschemischätzen

Sauerstoffplasmaveraschung

 

Simulation und Modellierung

Genaue Simulation und Modellierung eines Systems sind äußerst wichtig in F&E Projekten, um vor der Fabrikation des Bauelementes den Effekt verschiedener Parameter zu evaluieren.

Wir sind Ihre Ansprechspartner für folgende Anwendungen:

  • Magnetische Systeme
  • Integriert-optische Wellenleiter & photonische Strukturen
  • Optische Systeme
  • Mikrofluidik