Das Austrian Institute of Technology bietet Dienstleistungen für die Simulation, Fabrikation und Charakterisierung von mikro- & nanotechnologischen Strukturen und Bauelementen. Unsere Laboratorien sind modernst ausgestattet, unsere besondere Expertise beruht auf der Kombination von Halbleitertechnologie und Dünnfilmprozessen mit innovativen Konzepten der Mikro-, Nano- und Biowissenschaften. Wir würden uns freuen bei der Auswahl der geeigneten Methoden und Prozesse zur Bewältigung Ihrer technischen Herausforderungen helfen zu können.
Mikro & Nano Charakterisierung
Rastersonden-Microskopie und -Spektroskopie (SPM)
Atom- (AFM), Chemische- (CFM), Magnet- (MFM) Kraftmikroskopie
Abbildung auch in Flüssigkeiten
Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM)
Rastertransmissionselektronendetektor (STEM)
Rückstreuelektronendetektor (BSE)
Profilometer-Spitzenmessplatz
Elektrische Messungen bis zu 20 GHz
Magnetoresistive Charakterisierung
Elektrochemischer Potentiostat
Elektrochemische Impedanzspektroskopie
Mikro & Nano Fabrikation
Materialdrucker
Druckbare Materialien: Metalle, organische Leiterbahnen, biofunktionalisierende Tinten, etc. Substrate: Polymere und Metalle (Folien und Bulk), Glas, Keramik, etc.
Magnetron Sputtering
Präzise Abscheidungskontrolle für Schichtdicken 5nm – 1000nm. Mehr als 30 verschiedene Materialien verfügbar: Metalle, Halbleiter, Nichtleiter Multitarget-System: für Multilayer mit bis zu elf unterschiedlichen Materialien
Aufdampfen
Mehr als zehn unterschiedliche Materialien verfügbar: Metalle und Nichtleiter
Elektrochemische Abscheidung von Metallen und Halbleiter
Optische Lithographie
Elektronenstrahllithographie
Atomkraftlithographie
Argonionenätzen
Nasschemischätzen
Sauerstoffplasmaveraschung
Simulation und Modellierung
Genaue Simulation und Modellierung eines Systems sind äußerst wichtig in F&E Projekten, um vor der Fabrikation des Bauelementes den Effekt verschiedener Parameter zu evaluieren.
Wir sind Ihre Ansprechspartner für folgende Anwendungen:
- Magnetische Systeme
- Integriert-optische Wellenleiter & photonische Strukturen
- Optische Systeme
- Mikrofluidik