Wir entwickeln neuartige Nanotechnologie-basierte Gassensoren für Anwendungen in der Sicherheitstechnik, im Gesundheitswesen, etwa zur Früherkennung von Krankheiten, sowie im Umweltmonitoring. Unser Ziel ist es, das Potenzial der Nanotechnologie in der Gassensorik voll auszuschöpfen und spezifische Nanowerkzeuge mit den Möglichkeiten der CMOS-Technologie zu kombinieren. Mit Hilfe der Nanotechnologie kann eine bislang unerreichte Selektivität und Sensitivität erzielt werden, während die CMOS-Technologie als solide Basis für die praktische Umsetzung dient.

Nanosensoren bestehen aus nanokristallinen Metalloxidschichten und einzelnen kristallinen Nanodrähten. Die Sensorschichten und Nanodrähte werden mit ultradünnen Metallschichten und spezifischen Nanopartikeln funktionalisiert, um Gassensoren mit genau definierter Selektivität für einzelne Zielgase zu realisieren.

Die Verbindung von nanokristallinen Schichten, Nanodrähten und Nanopartikeln mit CMOS-Komponenten erfordert gänzlich neue Ansätze der heterogenen Integration. Die Entwicklungen werden in enger Kooperation mit erfahrenen Industriepartnern durchgeführt. Diese Zusammenarbeit ist für die Realisierung und erfolgreiche Kommerzialisierung von intelligenten Nanogassensoren für den täglichen Bedarf von zentraler Bedeutung.

Wir bieten dazu die folgenden Leistungen an:

• Herstellung von SnO₂-Schichten mittels Spraypyrolyse
• Synthese von SnO₂-Nanodrähten
• Synthese von CuO-Nanodrähten
• Gasmesssystem für Zielgase CO, CO₂, CH₄, H₂, H₂S, SO₂
• Gassensoren basierend auf SnO₂-Nanodrähten
• Gassensoren basierend auf CuO-Nanodrähten

Referenzprojekte:

• CATRENE-Projekt COCOA: Chip-On-Chip technology to Open new Applications
• ENIAC-Projekt ESiP: Efficient Silicon Multi-Chip System-in-Package Integration
        –  Reliability, Failure Analysis and Test
• MNT-Eranet-Projekt NanoSmart: Nanosensor system for smart gas sensing
       applications
• WWTF-Projekt Mathematics & Nanosensors