Das Austrian Institute of Technology bietet Dienstleistungen für die Simulation, Fabrikation und Charakterisierung von mikro- & nanotechnologischen Strukturen und Bauelementen. Unsere Laboratorien sind modernst ausgestattet, unsere besondere Expertise beruht auf der Kombination von Halbleitertechnologie und Dünnfilmprozessen mit innovativen Konzepten der Mikro-, Nano- und Biowissenschaften. Wir würden uns freuen bei der Auswahl der geeigneten Methoden und Prozesse zur Bewältigung Ihrer technischen Herausforderungen helfen zu können.

Mikro & Nano Charakterisierung

Rastersonden-Microskopie und -Spektroskopie (SPM)     

Atom- (AFM), Chemische- (CFM), Magnet- (MFM) Kraftmikroskopie      

Abbildung auch in Flüssigkeiten

Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM)     

Rastertransmissionselektronendetektor (STEM)     

Rückstreuelektronendetektor (BSE)

Profilometer4-Spitzenmessplatz     

Elektrische Messungen bis zu 20 GHz      

Magnetoresistive Charakterisierung

Elektrochemischer Potentiostat     

Elektrochemische Impedanzspektroskopie

Messplatz für integrierte optische WellenleiterUV-VIS-NIR-MIR Spektrometer, Monochromator

Mikro & Nano Fabrikation

Materialdrucker     

Druckbare Materialien: Metalle, organische Leiterbahnen,     biofunktionalisierende Tinten, etc.     Substraten: Polymere und Metalle (Folien und Bulk), Glas, Keramik, etc.

Magnetron Sputtering     

Präzise Abscheidungskontrolle für Schichtdicken 5nm – 1000nm     Mehr als 30 verschiedene Materialien verfügbar: Metalle, Halbleiter, Nichtleiter     Multitarget-System: für Multilayer mit bis zu 11 unterschiedlichen Materialien

Aufdampfen     

Mehr als 10 unterschiedliche Materialien verfügbar: Metalle und Nichtleiter

Elektrochemische Abscheidung von Metallen und Halbleiter

Optische Lithographie

Elektronenstrahllithographie

Atomkraftlithographie

Argonionenätzen

Nasschemischätzen

Sauerstoffplasmaveraschung